2軸マーブルリニアモーターモジュール

00 グレードの花崗岩ベース (低い熱膨張係数と振動減衰特性で選択) 上に構築されたこの 2 軸大理石リニア モーター モジュールは、2 つの高性能リニア モーター軸とエア ベアリング ガイドを統合し、±0.5μm の繰り返し精度を実現します。これは、半導体リソグラフィー、レーザー微細加工、光学検査、精密計測システムに最適です。

アルミニウムまたはスチールベースの 2 軸ステージの制限 (熱ドリフト、振動、低剛性) に対処するように設計された当社の 2 軸大理石リニア モーター モジュールは、高速動作 (軸あたり最大 2m/s) での機械的変形を排除し、動作温度 (-10℃ ～ 40℃) 全体で一貫した精度を維持します。 X-Y 軸同期制御システム (EtherCAT ベース) により、7nm チップのパッケージング、マイクロ光学部品の製造、高度な 3D 測定などの超精密プロセスに不可欠なナノメートルレベルの動作同期が可能になります。

ISO 9001:2015 および ISO 10110 の光学品質規格に基づいて製造された 2 軸大理石リニア モーター モジュールは、密閉型ケーブル管理システム、帯電防止コーティング、真空対応オプション (半導体クリーンルーム用) を備えています。業界をリードするモーションコントローラー (Aerotech、PI、Newport) および計測システム (レニショーレーザー干渉計) と互換性があり、超精密製造ラインにシームレスに統合され、従来の金属ベースの 2 軸ステージと比較してプロセスの歩留まりが最大 20% 向上します。

製品シリーズ

DT-GM-DX1シリーズ（小型・高精度）

X-Y移動範囲：100×100mm～500×500mm、繰り返し精度±0.5μm、各軸最大速度1m/s。マイクロ光学部品の加工、精密計測、小型半導体パッケージングに最適です。

DT-GM-DX2シリーズ（中高速）

X-Y移動範囲：500×500mm～1000×1000mm、繰り返し精度±1μm、各軸最大速度2m/s。レーザー微細加工、LCDパネル修理、中判光学検査に適しています。

DT-GM-DX-VACシリーズ（真空対応）

X-Y 移動範囲: 100×100mm ～ 800×800mm、繰り返し精度 ±0.5μm、真空定格 10⁻⁶ mbar。半導体クリーンルーム用途、真空コーティング、宇宙シミュレーションシステム向けに設計されています。

主な利点

1. 比類のない安定性を実現する 00 グレードの花崗岩ベース

天然の 00 グレードの花崗岩 (熱膨張係数 ≤0.5×10⁻⁶/℃) で作られたベースは、優れた熱安定性 (≤0.001mm/℃) と振動減衰 (高周波振動の 80% 減衰) を実現します。これにより、超精密製造プロセスにおける熱ドリフトと機械的共振（金属ベースのステージに共通する問題）が排除されます。

2. エアベアリングガイドによるサブミクロン精度

(従来のボールベアリングの代わりに) 統合されたエアベアリングリニアガイドにより摩擦と摩耗が排除され、±0.5μm の繰り返し位置決め精度と 1nm の分解能 (レニショーのアブソリュートエンコーダ経由) を実現します。非接触設計により、大量の超精密生産に不可欠な 1 億サイクルを超えるメンテナンスフリーの動作が保証されます。

3. X-Y軸同期モーション制御

EtherCATベースのリアルタイムモーション制御により、X軸とY軸間のナノメートルレベルの同期(同期誤差≤50nm)が可能になり、レーザー微細加工や光パターニングに必要な複雑なモーションプロファイル(円弧補間、スパイラルスキャン)をサポートします。オープン アーキテクチャは、サードパーティのモーション ソフトウェア (LabVIEW、MATLAB) と互換性があります。

4. 高剛性・低変形

一体化されたリブを備えた強化された花崗岩構造は、300N/μm 以上の剛性を実現し、動的荷重 (軸あたり最大 50kg) の下でのたわみを最小限に抑えます。この安定性により、高速加速時（1g）でも一貫した精度が保証され、プロセスのばらつきが低減され、製品の歩留まりが向上します。

5. 超精密用途向けにカスタマイズ可能

移動範囲 (100×100mm ～ 1000×1000mm)、エンコーダ分解能 (1nm ～ 1μm)、真空互換性 (10⁻3 ～ 10⁻⁶ mbar)、表面仕上げ (Ra ≤0.02μm) を完全にカスタマイズできます。オプション機能には、帯電防止コーティング、クリーンルーム対応素材、現場校正用の統合レーザー干渉計が含まれます。

6. クリーンルームでの使用に耐える工業グレードの信頼性

IP67保護等級（標準）/IP68（真空バージョン）、帯電防止コーティング（10⁶-10⁹Ω/sq）、低粒子放出（クラス1クリーンルーム準拠）により、半導体工場や光学製造のクリーンルームに適しています。連続稼働時の MTBF ≧ 40,000 時間により、5 年間で総所有コスト (TCO) が 30% 削減されます。

技術仕様

御影石ベース（00グレード）±0.5μm 繰り返し位置決め精度X-Y軸同期動作熱安定性（≦0.001mm/℃）高剛性（≧300N/μm）

アプリケーションシナリオ

Deaote の 2 軸大理石リニア モーター モジュールは、世界のハイテク分野にわたる超精密製造向けに設計されています。

● 半導体およびマイクロエレクトロニクス: 7nm/5nm チップのパッケージング、ウェーハ検査、リソグラフィーのアライメント、MEMS デバイスの製造

● 光学製造: マイクロ光学部品加工 (レンズ、プリズム)、光ファイバーアレイアセンブリ、ガラス基板のレーザーパターニング

● 精密計測: 3D 光学測定、三次元測定機 (CMM) モーション ステージ、ナノメートル レベルの表面プロファイリング

● レーザーマイクロマシニング: レーザーアブレーション、マイクロドリリング、硬質材料 (シリコン、サファイア、セラミック) の精密彫刻

● 航空宇宙および防衛: マイクロセンサーの製造、慣性航法コンポーネントの校正、衛星光学システムの組み立て

デアオテについて

Suzhou Deaote Precision Mold Co., Ltd. は、世界の半導体、光学、航空宇宙市場向けの花崗岩ベースのリニア モーター モジュールを中心に、超精密モーション コンポーネントの研究開発、製造、販売を専門とする大手ハイテク企業です。精密金型と超精密モーション システム設計における 15 年以上の専門知識により、当社はヨーロッパ、北米、日本、韓国のハイエンド製造分野の顧客にサービスを提供しています。

当社の 2 軸大理石リニア モータ モジュールは、当社の専用の超精密モーション研究開発ラボで開発されており、高度な花崗岩加工 (公差 ±0.001 mm)、レーザー キャリブレーション、エア ベアリング アセンブリ技術を活用してサブミクロンの精度を実現しています。当社は、モジュール設計およびプロトタイプ作成からオンサイト校正およびグローバル技術サポートに至るまで、エンドツーエンドのカスタマイズ サービスを提供し、当社のソリューションが超精密製造ラインの固有の要件を確実に満たすことを保証します。

Deaote は、「ナノメートルレベルの精度、生涯にわたる安定性」に取り組んでおり、年間収益の 20% を研究開発に投資して、次世代の超精密モーション ソリューションを開発しています。当社の ISO 9001:2015 および ISO 10110 認定の生産施設とグローバル サービス ネットワークは、迅速な応答時間 (48 時間以内) とローカル技術サポートを保証し、世界中のハイエンド超精密機器メーカーにとって信頼できるパートナーとなっています。