多軸精密モーションプラットフォーム

当社の多軸精密モーションプラットフォームは、高剛性アルミニウム合金または御影石ベース、高精度リニアガイド、高性能サーボモーター、アブソリュート光学式エンコーダーを統合し、±0.5μmの位置決め精度と±0.1μmの再現性を実現します。産業環境での 24 時間 365 日の連続稼働向けに設計された当社のモーション プラットフォームは、モジュラー設計、簡単な統合、高度なモーション制御アルゴリズムを特徴としており、最も要求の厳しいオートメーション アプリケーション向けに正確で信頼性の高い位置決めを保証します。

● 正確なアプリケーション要件と CAD 仕様に合わせて設計されたカスタム 2 ～ 6 軸モーション ステージ

● サブミクロンの位置決め精度 (±0.5μm) とナノメートルレベルの再現性 (±0.1μm) を備えた重要な精密アプリケーション向け

● カスタマイズとメンテナンスが容易な交換可能なコンポーネントを備えたモジュラー設計

●超安定した位置決めを実現する防振技術を備えた高度なモーション制御アルゴリズム

● 完全な品質管理とトレーサビリティを備えた ISO 9001:2015 認定製造

主な機能と主な利点

高剛性の機構設計

当社の多軸精密モーション プラットフォームは、高強度アルミニウム合金 (6061-T6) または花崗岩のベースを備えており、優れた構造剛性と最小限の熱変形を実現します。モジュラー設計により 2 ～ 6 軸システムの構成が容易になり、精密機械加工されたコンポーネントにより 5 秒角以内の平行度と直角度が保証され、最適な動作精度が実現します。

高度なモーションコントロールシステム

高性能サーボ モーター、高精度ボールネジまたはリニア モーター、絶対光学式エンコーダー (分解能 1nm) と統合された当社の多軸ステージは、サブミクロンの精度でスムーズで正確な動きを実現します。独自のモーション制御ソフトウェアには、経路の最適化、振動抑制、およびリアルタイム誤差補償アルゴリズムが含まれています。

産業グレードの信頼性

すべての多軸精密モーション プラットフォームは、IP65 保護等級、密閉リニア ガイド、および高温耐性コンポーネントを備えた産業環境で 24 時間 365 日稼働できるように構築されています。堅牢な設計により、最小限のメンテナンス要件で 20,000 時間以上の MTBF (平均故障間隔) が保証されます。

技術仕様

機械仕様

●基材：6061-T6アルミニウム合金/黒御影石(00级)

●ガイド方式：精密リニアローラーガイド/エアベアリング

●駆動方式：ボールネジ付サーボモーター／リニアモーター

● フィードバック: アブソリュート光学式エンコーダー (分解能 1nm)

●保護等級：IP65標準（IP67はオプション）

環境および動作仕様

●動作温度：0～40℃（温度補償はオプション）

●湿度：10～90％RH（結露なきこと）

● 防振: パッシブ/アクティブ振動制御オプション

●電源：AC200～240V、50/60Hz、単相/三相

●制御インターフェース：EtherCAT / Modbus / TCP/IP / アナログ

多軸モーションステージのアプリケーション

産業オートメーション

産業オートメーションとロボティクス

● 電子部品アセンブリ用の高精度ピックアンドプレース システム

● 自動車部品の自動試験・検査システム

● 多軸同期機能を備えた CNC 工作機械位置決めシステム

● 6 軸精密制御によるロボットアームエンドエフェクタの位置決め

半導体製造

半導体とエレクトロニクス

● 半導体製造用のウェーハハンドリングおよび位置決めシステム

● 多軸の高精度位置決めによる PCB の検査とテスト

● サブミクロンの精度での LED チップのパッケージングと接合

● 光ファイバ整列および接続システム

医療および科学

医療機器と科学研究

●高精度の位置決めによる医療機器の製造および組み立て

● 多軸サンプル位置決め機能を備えた生物医学イメージング システム

●6軸モーションコントロールを備えたレーザー手術装置

● 材料の試験と特性評価のための科学研究機器