XYZT ウエハ検査用ガントリーモーションステージ

当社のウェハ検査用 XYZT ガントリー モーション ステージは、高剛性の花崗岩ベース、エア ベアリング ガイド、リニア モーター ドライブ、高精度光学式エンコーダーを統合し、±1µm の位置決め精度と ±0.1µm の再現性を実現します。クリーンルーム環境 (クラス 100/クラス 10) で 24 時間年中無休で動作するように設計された当社のガントリー ステージは、超低振動、高い動的応答 (最大速度 500mm/s)、熱安定性を特徴としており、生産ライフサイクル全体にわたって信頼性の高いウェーハ欠陥検出と寸法計測を保証します。

● ウエハ検査装置の仕様と CAD 図面に合わせて設計されたウエハ検査用のカスタム XYZT ガントリー モーション ステージ

● ±1μmの位置決め精度とナノメートルレベルの再現性(±0.1μm)で重要なウェーハ測定を実現

● クリーンルーム環境での摩擦のない動きと粒子の発生ゼロを実現するエアベアリング技術

● アクティブ温度制御 (±0.01°C) を備えた熱安定設計で超高精度を実現

● 半導体業界のコンプライアンスに関する完全なトレーサビリティを備えた ISO 9001:2015 認定製造

主な機能と主な利点

高剛性の機構設計

当社のウエハ検査用 XYZT ガントリー モーション ステージは、モノリシック花崗岩ベース (熱膨張係数 < 0.5 × 10⁻⁶/°C) と炭素繊維強化ポリマー (CFRP) ガントリー ビームを備えており、優れた構造剛性と最小限の熱変形を実現します。対称ガントリー設計によりアッベ誤差が排除され、ウェーハ検査領域全体にわたって均一な負荷分散が保証されます。

精密モーションコントロールシステム

高性能リニア モーター ドライブ (ゼロ バックラッシュ、高加速) および絶対光学式エンコーダー (分解能 1nm) と統合された XYZT ガントリー ステージは、サブミクロンの精度でスムーズで正確な動きを実現します。高度なサーボ制御アルゴリズムにより、動的誤差が補償され、ウェハ スキャン操作中にナノメートル レベルの位置決めの安定性が保証されます。

クリーンルーム対応設計

ウェハ検査用のすべての XYZT ガントリー モーション ステージは、真空対応コンポーネント、密閉リニア ガイド、および低ガス放出材料 (SEMI S2-0701 準拠) を備えたクラス 100/クラス 10 クリーンルームでの操作向けに設計されています。エアベアリング技術により粒子の発生が排除され、密閉型ケーブル管理システムにより高速ウェーハ検査サイクル中の汚染が防止されます。

技術仕様

機械仕様

・基材：黒御影石（00级）/CFRP複合材

ガイドシステム: 精密エアベアリング/リニアローラーガイド

駆動方式：ブラシレスリニアモーター/ボールネジ付きサーボモーター

フィードバック: アブソリュート光学式エンコーダー (分解能 1nm)

環境仕様

●動作温度：20±0.5℃（アクティブサーマルコントロール）

●クリーンルーム評価：クラス100(ISOクラス5)/クラス10(ISOクラス4)

●振動絶縁：アクティブ/パッシブ振動制御システム

●電源：AC200～240V、50/60Hz、単相/三相

アプリケーション

● 200mm/300mm/450mm ウェーハのパーティクルやパターン欠陥を高速スキャン

● 光学/顕微鏡欠陥検出システム向けのナノメートルレベルの位置決め

● ウェーハの反り検査のための動的平坦度補正

● レーザー走査および電子顕微鏡検査ツールとの統合

ウェーハ計測学

ウェーハの寸法計測

● ウェーハの厚さ、反り、反りパラメータの精密測定

● オーバーレイ計測システム向けのサブミクロンレベルのアライメント

● 温度に敏感な計測のための熱的に安定した位置決め

● ウェーハ製造プロセス向けの自動インライン計測

ウェーハ処理

ウェーハの処理と取り扱い

● ウェハリソグラフィーおよびエッチングプロセスの高精度アライメント

● クリーンルーム対応のウェーハハンドリングおよび搬送システム

● レーザーダイシングおよびウェーハ薄化作業のための動的位置決め

● ロボットによるウェーハハンドリングおよび自動化システムとの統合